由于SF6在GIS系統(tǒng)中的作用與地位不容忽視，因此一直以來(lái)在如何實(shí)現(xiàn)對(duì)其狀態(tài)的監(jiān)測(cè)方面給予了充分的關(guān)注。傳統(tǒng)技術(shù)環(huán)境下，SF6氣體的檢測(cè)方式包括氣壓表測(cè)量法和密度繼電器測(cè)量法，以及半導(dǎo)體測(cè)量法等，并且超聲波測(cè)量以及負(fù)電暈放電測(cè)量也是常見(jiàn)的六氟化硫SF6在線監(jiān)測(cè)方法。

　　其中氣壓表測(cè)量主要是對(duì)密閉的GIS中氣體壓力展開(kāi)測(cè)度，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)于GIS中SF6是否存在變質(zhì)問(wèn)題實(shí)現(xiàn)判斷。但是考慮到在溫度變化劇烈的環(huán)境中，SF6氣體壓力會(huì)隨之有所變化，因此此種方式只有在環(huán)境溫度變化不顯著的時(shí)候才能展開(kāi)有效應(yīng)用，并且無(wú)法實(shí)現(xiàn)相關(guān)數(shù)據(jù)的自動(dòng)化獲取，其測(cè)定結(jié)果通常僅供參考。

　　而對(duì)于密度繼電器測(cè)量而言，其機(jī)械屬性本身決定了其抗震能力等方面均不盡如人意，因此無(wú)法實(shí)現(xiàn)氣體微量泄露的測(cè)定。

　　半導(dǎo)體傳感器則以二氧化錫半導(dǎo)體作為電極，依據(jù)其強(qiáng)親氟化物的特征來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)于空氣中氣體含量的測(cè)定。此種測(cè)定方式能夠?qū)崿F(xiàn)較高精度，并且在成本方面也占據(jù)極大優(yōu)勢(shì)，但是壽命相對(duì)有限，隨著壽命的延伸其誤報(bào)率有了顯著增高。

　　采用超聲波測(cè)速法展開(kāi)對(duì)于SF6氣體泄漏的測(cè)量，是根據(jù)超聲波傳播速度隨氣體摩爾質(zhì)量增加而變化這一特性。SF6氣體的摩爾質(zhì)量是空氣的五倍，因此當(dāng)其發(fā)生泄漏的時(shí)候，會(huì)導(dǎo)致周?chē)h(huán)境介質(zhì)摩爾質(zhì)量的顯著上升，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)于其密封狀況的判斷。此種工作方式雖穩(wěn)定且精度較高，但是成本昂貴，因此難以實(shí)現(xiàn)大面積應(yīng)用。

　　負(fù)電暈放電檢測(cè)設(shè)備通常置于電站開(kāi)關(guān)柜內(nèi)，是當(dāng)前比較常見(jiàn)的檢測(cè)設(shè)備，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、可靠性高的特征，且成本控制相對(duì)較容易，十分適合大范圍在線監(jiān)測(cè)。但是此種技術(shù)相對(duì)而言壽命較短，容易造成誤報(bào)警問(wèn)題的發(fā)生，可信度已經(jīng)成為阻礙其進(jìn)一步深入應(yīng)用的主要因素。