六氟化硫本身對(duì)人體無(wú)毒、無(wú)害，但它卻是一種溫室效應(yīng)氣體，其單分子的溫室效應(yīng)是二氧化碳的2.2萬(wàn)倍，是《京都議定書(shū)》中被禁止排放的6種溫室氣體之一。當(dāng)今世界六氟化硫的排放量極少，對(duì)溫室效應(yīng)的貢獻(xiàn)相比于二氧化碳而言完全可以忽略；但出于長(zhǎng)久的環(huán)保考慮，如何合理、正確的回收凈化六氟化硫氣體，是要解決的問(wèn)題。
目前主流的泄露在線監(jiān)測(cè)方法有以下五種：
1）高壓擊穿技術(shù)。
電擊穿技術(shù)是從SF6在電力上的典型應(yīng)用——作為絕緣氣體應(yīng)用在GIS開(kāi)關(guān)柜中演變而來(lái)的。其工作原理是根據(jù)SF6氣體絕緣的特性，從置于被檢測(cè)空氣中的高壓電極間電壓的變化來(lái)判斷空氣中是否含有SF6氣體。因其結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單，成本低，檢測(cè)精度相對(duì)高的特點(diǎn)。但該方法壽命短、溫度漂移大、濕度和粉塵影響大，鹵素類氣體對(duì)其有干擾，不適用于在線式系統(tǒng)。
2）紅外光譜技術(shù)
紅外光譜吸收技術(shù)(又稱激光技術(shù)）的原理是SF6作為溫室氣體，對(duì)特定波段的紅外光有很強(qiáng)烈的吸收特性。紅外光譜技術(shù)的特點(diǎn)是成本高，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，靈敏度高，不受環(huán)境的影響和干擾，對(duì)環(huán)境的溫度和濕度的變化所帶來(lái)的檢測(cè)誤差很小，由于其是采用主動(dòng)抽取測(cè)試點(diǎn)氣體的原理，帶來(lái)的效果是發(fā)現(xiàn)泄漏早，反應(yīng)迅速。
紅外光譜技術(shù)有兩種結(jié)構(gòu)形式，一種是開(kāi)放式紅外光譜，即紅外光發(fā)生器和分析器距離較遠(yuǎn)，中間是未封閉的空間，這種產(chǎn)品可以實(shí)現(xiàn)一只激光器可以同時(shí)采集激光折射路境內(nèi)所有SF6含量，是一種相對(duì)低成本的解決方案，但是由于該波長(zhǎng)紅外光對(duì)人體視覺(jué)損傷較大，所以市場(chǎng)上這種產(chǎn)品并不多見(jiàn)。另一種是封閉式紅外監(jiān)測(cè)，將紅外光發(fā)生器與分析器封閉在一個(gè)密閉空間，氣體通過(guò)擴(kuò)散或者管道方式通過(guò)該空間實(shí)現(xiàn)檢測(cè)。目前市場(chǎng)上SF6泄露在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)多采用該方法。
3）超聲波法
超聲波在固定距離中傳播時(shí)間是跟聲波所通過(guò)的介質(zhì)有一定的關(guān)系，理論上，當(dāng)不同濃度SF6與空氣混合后，通過(guò)固定距離所需時(shí)間與SF6濃度存在一定的關(guān)系，通過(guò)所需時(shí)間長(zhǎng)短直接反應(yīng)SF6氣體濃度。缺點(diǎn)：超聲波受濕度、溫度影響非常大，微量SF6的信號(hào)也是很微弱的，容易被空氣的濕度或溫度的變化所干擾，因此，在測(cè)低濃度時(shí)易造成誤報(bào)或不報(bào)，適合高濃度檢測(cè)。通過(guò)大量檢測(cè)，當(dāng)SF6濃度達(dá)10000ppm以上，超聲波法檢測(cè)比較可靠。
4）電化學(xué)技術(shù)（TGS830、TGS832）費(fèi)加羅傳感器或鹵素氣體傳感器。
電化學(xué)技術(shù)的原理是被檢測(cè)氣體接觸到200°C左右高溫的催化劑表面，并與之發(fā)生相應(yīng)的化學(xué)反應(yīng)，從而產(chǎn)生電信號(hào)的改變，以此來(lái)發(fā)現(xiàn)被檢測(cè)氣體。電化學(xué)技術(shù)其成本低、壽命長(zhǎng)、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可以連續(xù)工作的特點(diǎn)。但其檢測(cè)分辨率較低，無(wú)法發(fā)現(xiàn)微量泄露。
5）電子捕獲ECD原理
電子捕獲檢測(cè)器（electron capture detector)，簡(jiǎn)稱ECD。 電子捕獲檢測(cè)器也是一種離子化檢測(cè)器，它是一個(gè)有選擇性的高靈敏度的檢測(cè)器，它只對(duì)具有電負(fù)性的物質(zhì)，如含鹵素、硫、磷、氮的物質(zhì)有信號(hào)，物質(zhì)的電負(fù)性越強(qiáng)，也就是電子吸收系數(shù)越大，檢測(cè)器的靈敏度越高，而對(duì)電中性（無(wú)電負(fù)性）的物質(zhì)，如烷烴等則無(wú)信號(hào)。
