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接近傳感器的集成化和多樣化

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  接近傳感器的“五化”指的是:智能化、可移動化、微型化、集成化和多樣化。

  接近傳感器集成化,多功能一體化傳感器受到廣泛關注。傳感器集成化包括兩類:一種是同類型多個傳感器的集成,即同一功能的多個傳感元件用集成工藝在同一平面上排列,組成線性傳感器。另一種多功能一體化,如幾種不同的敏感元器件制作在同一硅片上,制成集成化多功能的傳感器、集成度高、體積小,容易實現補償和校正,是當前傳感器集成化發展的主要大方向。

  接近傳感器多樣化是新材料技術的突破加快了多種新型傳感器的涌現,新型敏感材料是傳感器的技術基礎,材料技術研發是提升性能、降低陳本和技術升級的重要手段,除了傳統的半導體材料、光導纖維等,有機敏感材料、超導、納米和生物材料等成為研發熱點,生物傳感器、光纖傳感器、氣敏傳感器等新型傳感器加快涌現。